IMMS gewinnt Silber für bahnbrechendes Nanometer-Präzisionssystem aus Thüringen
Wenzel Weinhold
IMMS gewinnt Silber für bahnbrechendes Nanometer-Präzisionssystem aus Thüringen
Neues Positionierungssystem des IMMS mit Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen ausgezeichnet
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Ein am Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) entwickeltes Positionierungssystem hat eine Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen gewonnen. Die Technologie erreicht eine Präzision im Subnanometerbereich und kommt damit dem wachsenden Bedarf an ultrapräzisen Maschinen für Anwendungen im Nanomaßstab entgegen. Die Auszeichnung wurde im Rahmen der iENA-Erfindermesse an der Technischen Universität Ilmenau überreicht.
Das patentierte System mit dem Titel "Positionierungssystem mit einer Steuerung und Verfahren zu dessen Konfiguration" wurde von Alex Huaman entwickelt. Es führt ein neuartiges Steuerungskonzept ein, das eine ultrapräzise Positionierung über große Bereiche hinweg in hochdynamischen, mehrkoordinativen Direktantriebssystemen ermöglicht.
Kern der Innovation ist ein Störgrößenbeobachter, der störende Kräfte und Momente in Echtzeit berechnet und so eine proaktive Kompensation ermöglicht. Das Steuerungskonzept umfasst zudem einen verbesserten dynamischen Beobachter, der die Antriebspräzision bei schnellen Bewegungsabläufen weiter erhöht.
Die technische Leitung der Entwicklung lag bei Dr.-Ing. Ludwig Herzog, Leiter der Abteilung Mechatronik am IMMS. Beate Hövelmans, Leiterin der Unternehmenskommunikation, betonte das Potenzial des Systems für Branchen, die Nanometer-Präzision erfordern – etwa in der Halbleiterfertigung oder der Materialforschung.
Die Silbermedaille würdigt den Fortschritt des IMMS im Bereich hochpräziser Mechatronik. Die Fähigkeit des Systems, Störungen in Echtzeit auszugleichen, könnte unter anderem der Halbleiterindustrie und der Entwicklung fortschrittlicher Materialien zugutekommen. Mit der steigenden Nachfrage nach nanometergenauer Technik werden weitere Anwendungsfelder erwartet.
